随着经济的开展，电子技术的应用越来越普遍，VOCs废气处理不当会给环境形成严重的危害，关于废气的处置问题也日益严重。在电子行业中形成环境污染的有机废气产生于芯片或线路板消费的清洗、均胶、去胶、刻蚀、显影等过程中。需要经过业内较好的VOCs废气处理后才能排放到大气中。下面介绍一下VOCs废气处理的方式有哪些？
1、活性炭的脱附
VOCs废气处理通过催化熄灭的依据就是根据废气浓度的含量不同，脱附时间也不同。活性炭的脱附过程都是在线脱附，就是当活性炭饱和后设备会自动进行脱附，不需要有人去经常查看，俭省了人工费用。VOCs废气处理中易使催化剂中毒的物质有焦油、油烟、粉尘、铅化合物和硫、磷、卤族元素的化合物等。
2、自热均衡处理
VOCs废气处理有机废气时温度高于起燃温度，有机物含量较高。热交流器回收局部净化气体产生的热量，在正常运转下无需补充热量即可坚持热均衡。通常VOCs废气处理是在催化熄灭反响器中进行只需要布置一个电加热器来点火。为了坚持催化剂的活性，普通都采用前处置的方法，预先除掉有毒物质。
3、吸附催化熄灭
当有机废气流量大、浓度低、温度低且催化熄灭需要大量燃料时，VOCs废气处理可经过吸附安装吸附在吸附剂上进行浓缩，然后经过热空气吹扫将有机废气解吸成高浓度有机废气，然后进行催化熄灭。此时VOCs废气处理无需添加热源即可维持正常运转。就是脱附的时候并不是全部脱附，只要一个箱体在脱附，其他的箱体依然在工作。
总而言之，VOCs废气处理的方式有活性炭的脱附、自热均衡处理、吸附催化熄灭。近几年来，含稀土元素的钙钛矿构造的复合氧化物催化剂的研制在进步耐高温性能等方面有所停顿，研制的稀土元素催化剂已用于信誉可靠的VOCs废气处理。