VOCs废气处理需要经历多个步骤，尤其在潮湿的介质当中更需要进行除湿后再进行处理，由于气体当中的营养成分不同，因此要进行针对性的处理，气体的简单处理过程并不是只将中的细胞组成物质进行氧化分解，需要进行多个步骤处理后，生成对于土地、大气和人体不产生毒害的其他产物，VOCs废气处理的措施不同，那么VOCs废气处理要经历哪几个步骤呢？
1、过滤床
VOCs废气处理的生物过滤床是一种在其中填入具有吸附性滤料(如泥炭、土壤、活性炭等物质)的净化装置。挂生物膜前，在过滤床中掺入缓冲剂等营养元素，当具有一定湿度的废气进入生物滤床，通过生物活性填料层时，滤料中的微生物(主要是细菌、放线菌、原生动物、藻类等)即可通过接触而捕获废气中的有机物并将其作为自身生长的碳源。因此废气通过生物过滤床后即可被净化，而滤料层中的微生物在生化降解污染物的过程中不断生长繁殖，从而使生物滤池的操作得以持续进行，滤料使用一段时间后一般呈酸性，VOCs废气处理设备要定期进行维护和保养。
2、生物滴滤床
VOCs废气处理的基础知识显示，生物滴滤池与生物滤池的结构相似，不同之处在于其顶部设有喷淋装置。它的底下通常采用大小不一的碎石铺成，各种填料种类不同，为了保证工作效率它一般不会选择各种复杂的吸附性的填料，填料的表面是微生物形成的几毫米厚的生物膜。VOCs废气处理的物质通过滴滤池时，废气中的污染物被微生物降解，生物滴滤池在营养供给和微生物生长环境的调节方面具有优势，可承受比生物滤池更大的污染负荷，同时具有很大的缓冲能力，该VOCs废气处理操作条件也易于控制，可通过调节循环液的物质得以实现。
如果该废气中有大量的有毒有害物质，填料表面难以被气化，如此质量转化的过程当中可能会有能量的损耗，另外在活性污泥池的沉淀中耗费的时间较长，所以通常情况下还要进行生物洗涤塔步骤的处理，该步骤旨在控制反应条件，在上个步骤的基础上将多余的产物进一步的剥离，一些生物洗涤塔需要配比相应的缓冲剂。