VOCs废气处理有多种方法，不同的方法展示出了不同的特质，一些厂家对于处理效率要求较高，所以可能会选择等离子方法，一些厂家要尽量的将废气中的固体颗粒物处理完全，则可能选择光分解的方法，而一些企业对于废气处理要求本身较低，可以随意选择其中一种方法，只要处理费用低且处理效率满足要求即可，那么VOCs废气处理具有哪几种常见方法呢？
1、光分解法
光分解VOCs有多种形式，比如直接光照进行分解，分解的效率高但是分解并不彻底，另外就是在人工辅助的情况下进行分解，比如将其中添加个性化的催化剂。有研究表明有机氯化物和氟氯烃在紫外光照射下，两种物质都能在极短的时间内分解，卤代物的分解速度大于氟氯烃：三氯乙烯几秒钟内即能分解成氧气、氯气、氟气等。光分解可产生中间产物，可通过氢氧化钠溶液处理或延长滞留时间等手段进行VOCs废气处理。
2、等离子体分解法
VOCs废气处理的措施较多，等离子体分解氯氟烃的技术已到实用阶段，此技术可在短时间内进行大量的氯氟烃等气体的处理。此VOCs废气处理过程采用多个系统，一系统利用高频等离子体急速加热，使温度达到高温，利用等离子体的化学作用与水蒸汽接触进行分解；另外系统是将高温分解的排气急冷。该系统是由氯氟烃和水蒸汽的供给装置、等离子体发生装置、反应炉、冷却罐以及排水处理装置等构成。
3、微波催化氧化技术
VOCs废气处理费用低，微波空气净化技术是由填料吸附、解吸技术发展而来，是将传统解吸方式转变为微波解吸，微波能的应用大大减少了能量的消耗并缩短了解吸时间，而且VOCs废气处理吸附剂经多次解吸后基本上保持原有吸附能力。微波解吸技术对空气的净化基本上与其在水处理中的应用类似，VOCs废气处理解吸原理都可以用“容器加热理论”和“体积加热理论”加以解释。
VOCs废气处理中并不能够以效率或者是中间产物以及分解的完全性对于其进行单一的判断，每个企业追求不同，有一部分企业无需追求彻底分解，对于京津冀的企业客户而言环保力度较大，所以对于空气污染物排放控制极为严格，这可能需要多种废气处理方法共同作用，所以各企业要斟酌自身实际情况而选择个性化的废气处理方法。